设备名称:

场发射扫描电子显微镜

    号:

IGMA

制造厂商:

德国蔡司

设备状态:

使用正常

设备地点:

中科院核能安全技术研究所教育基地T112

仪器性能指标:

1)  电子枪:肖特基场发射电子枪

2)  分辨率:1.3nm@20kV,1.5nm@15kV,2.8nm@1kV

3)  加速电压:0.1~30kv,连续可调

4)  放大倍数:12~1000kx

5)  样品台:Φ330*270mm

6)  EBSD:点分辨:10nm、取向精度:0.05°、采集速率:870/s

设备用途:

主要应用于金属材料和非金属材料的微观组织观察、材料断口失效分析、元素成分分析等研究